扫描电镜（SEM/EDS）
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第1楼2024/10/30
在SEM观察前，是否需要在SiC MOSFET的表面镀铂（Pt）取决于具体的观察目的和要求。镀铂可以改善样品的导电性，有助于提高SEM图像的质量。然而，如果样品本身具有良好的导电性，或者SEM观察的目的不是为了获得高分辨率的图像，那么可能不需要镀铂。
我不是龙哥
第2楼2024/10/30
如果想上大电压，应该是需要镀导电层，导电性不好的样品直接观察更适合低电压低电流，这样荷电效应的影响会弱一些
UNM
第3楼2024/10/30
如果只是观察，可以选择5KV的二次电子探头观察即可。如果是观察表面的一些脏污，需要加减电压去尝试哪种电压效果最好。另外如果需要能谱分析，就需要高电压。如果高电压放电比较厉害，就需要镀金等去分析。
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