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【求助】S3700

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我单位有一台日立公司的3700钨灯丝扫描电镜,最近发现在进行能谱分析的时候计数率较低,后发现灯丝的发射电流比较低,大概在50uA左右,根据说明书,灯丝的发射电流可以通过调节Gun bias来进行调节,bias的值越小,发射电流越大,想问一下大家一般把发射电流设定为多少较为合适,
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  • huangtao0307

    第1楼2010/07/16

    沒有實操過這個形號的設備﹐你最好問下供應商﹐
    一般標准規則﹐發射電流要使采集時死亡時間小于30%為最佳

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  • newbeesong

    第2楼2010/07/23

    更换灯丝,并减少灯丝上的铜垫片,20KV时应该在80-120之间

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  • august001

    第3楼2010/08/06

    15KV加速電壓下发射电流控制在70-120uA,一般放在100uA左右影像清晰度应该没有问题.

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  • fengyonghe

    第4楼2010/08/07

    由各家的仪器情况选择发射电流,满足工作要求的条件下选小些的发射电流。可以延长灯丝寿命、减少污染。我经常用40-50uA,觉得可以。

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  • yinsh1212

    第5楼2010/08/09

    谢谢大家了,灯丝发射限流小,灯丝寿命是应该长一些的,不过也发现一个问题,在10kV时发射电流大约为80uA左右,而增加高压至20kV时,发射电流反而下降至50多uA,好像也不是很正常,按理应该是高压越高,发射电流越大才对呀,不过这根灯丝今天终于烧断了,大概用了2个月。

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  • yinsh1212

    第6楼2010/08/09

    发射电流随高压的变化是不是和电镜的自动偏压有关系呀,日立钨灯丝的扫描电镜好像是4级自动偏压,不过我们好像平时都是把Gun bias设置为0的,而且没有选择auto gun bias呀。

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  • 驰奔

    第7楼2010/08/11

    场发射扫描电镜总的发射束流最大才200nA,是否没法用能谱了?
    关键还是最终探针的电流强度要足够,物镜光阑是否选对? 聚光镜焦距可以拉长,

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  • forzamarco

    第8楼2010/08/12

    Hitachi 的S3400/S3700在更换HV或者HV On的过程中会自动调整gun bias的数值.一般30kV时110-130uA(Auto gun bias on)或130-150uA(Auto gun bias off).能谱的计数率低有可能是你的probe current设定过低,尝试调大一点.将movable aperture放置在零号孔看一下,还有是否好久没有做ABS了,建议做一次.印象中Ie值和能谱计数率没有什么密切的联系.

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  • luhaishan

    第9楼2010/08/12

    楼上的是Techmax的专家吗?

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  • linzq

    第10楼2010/08/12

    同意你的看法,很内行!

    驰奔(SRD2009) 发表:场发射扫描电镜总的发射束流最大才200nA,是否没法用能谱了?
    关键还是最终探针的电流强度要足够,物镜光阑是否选对? 聚光镜焦距可以拉长,

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