扫描电镜(SEM/EDS)
huangtao0307
第1楼2010/07/16
沒有實操過這個形號的設備﹐你最好問下供應商﹐一般標准規則﹐發射電流要使采集時死亡時間小于30%為最佳
newbeesong
第2楼2010/07/23
更换灯丝,并减少灯丝上的铜垫片,20KV时应该在80-120之间
august001
第3楼2010/08/06
15KV加速電壓下发射电流控制在70-120uA,一般放在100uA左右影像清晰度应该没有问题.
fengyonghe
第4楼2010/08/07
由各家的仪器情况选择发射电流,满足工作要求的条件下选小些的发射电流。可以延长灯丝寿命、减少污染。我经常用40-50uA,觉得可以。
yinsh1212
第5楼2010/08/09
谢谢大家了,灯丝发射限流小,灯丝寿命是应该长一些的,不过也发现一个问题,在10kV时发射电流大约为80uA左右,而增加高压至20kV时,发射电流反而下降至50多uA,好像也不是很正常,按理应该是高压越高,发射电流越大才对呀,不过这根灯丝今天终于烧断了,大概用了2个月。
第6楼2010/08/09
发射电流随高压的变化是不是和电镜的自动偏压有关系呀,日立钨灯丝的扫描电镜好像是4级自动偏压,不过我们好像平时都是把Gun bias设置为0的,而且没有选择auto gun bias呀。
驰奔
第7楼2010/08/11
场发射扫描电镜总的发射束流最大才200nA,是否没法用能谱了?关键还是最终探针的电流强度要足够,物镜光阑是否选对? 聚光镜焦距可以拉长,
forzamarco
第8楼2010/08/12
Hitachi 的S3400/S3700在更换HV或者HV On的过程中会自动调整gun bias的数值.一般30kV时110-130uA(Auto gun bias on)或130-150uA(Auto gun bias off).能谱的计数率低有可能是你的probe current设定过低,尝试调大一点.将movable aperture放置在零号孔看一下,还有是否好久没有做ABS了,建议做一次.印象中Ie值和能谱计数率没有什么密切的联系.
luhaishan
第9楼2010/08/12
楼上的是Techmax的专家吗?
linzq
第10楼2010/08/12
同意你的看法,很内行!
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