【求助】怎样确定样品薄区厚度

TEM里估算厚度的方法有好几种，但没有绝对好用的，看你要做哪方面的内容了。

谢谢，可不可以详细点，或者给几篇参考文献也行。我的样品本来就是薄膜材料，老板问我减薄后的厚度。

利用样品边缘的等厚干涉条纹、CBED和EELS都可以测量样品的厚度，等厚干涉条纹方法一般的透射电镜方面的书都会介绍，CBED方法可以参考《高空间分辨分析电子显微学》和《透射电子显微学进展》，EELS方法可以看一下《Electron energy-loss spectroscopy in the electron microscope 》R.F. Egerton。这些方法测量样品厚度都有误差。
另外，你FIB的时候为什么不在扫描里直接看一下厚度？