liufj
第1楼2006/02/13
TEM最常见的工作模式有两种,即成像模式和衍射模式(如图中所示)。在成像模式下,我们可以得到样品的形貌、结构等信息,而在衍射模式下,我们可以对样品进行物相分析。
TEM 主要技术参数包括:
a)加速电压。常用TEM的加速电压在200-400仟伏范围内。
b)灯丝种类。
e)分辨率,又叫分辨本领。分为点分辨率、线分辨率、信息分辨率等多个参数。通常我们最为关心的是点分辨率。
d)放大倍率。增加中间镜的数量,我们几乎可以无限制地增加电子显微镜的放大倍率。但是,电子显微镜的分辨率是由其加速电压、物镜球差、色差系数等参量所决定的,无限制地增加放大倍率只能使我们得到一张模糊的图像。同时,图像的亮度将随倍率的提高而降低,这对实验工作不利。所以,现代TEM的最大放大倍率都只在一百万倍左右。
e)样品台倾转角。倾转角的大小取决于样品台和物镜极靴种类。
tem_abc
第3楼2006/02/17
增加一些现代知识:点分辨率对钨灯丝或LaB6灯丝最重要,但在场发射系统上,信息分辨率更为重要。点分辨率代表了可直接解释的分辨率(详见我在论坛另外的帖子),如果你只关心样品中是否有缺陷,这就不显得那末重要了。何况,场发射的信息分辨率远大于点分辨率,可以使用图像处理的办法提高点分辨率(北科大的讲习班玩儿的肯定包括这招,国内代表人物为物理所的李方华院士)。现在正时髦的球差矫正器,也使得点分辨率成为过时的标准。
放大倍数一百万,是电镜的直接放大倍数。过去使用底片,仍需在暗室里再光学放大上几十倍。现在大都使用CCD相机,其显示也放大了十几到几十倍(以相机的CCD到计算机屏幕算)。因此电镜照片的最大放大倍数有几千万倍至多。1A就放大到1mm以上,足够使用了。
tem_abc
第5楼2006/02/19
既然有人回应,再来点新的。现在常用的商品透射电镜加速电压在100到300千伏。日本电子曾有过400千伏的,但因不很成功就中止了。在此之上也有所谓的超高压电镜,加速电压从1000千伏到3000千伏。这种电镜的最大的优点,是样品穿透本领的提高。而其短波长带来高分辨率的特点,已经轻而易举地被正在兴起的球差矫正器取代。超高压电镜有一些显著的缺点,一是它的尺寸太大,有两三层楼高,需独立造楼;二是它的造价(几千万美金)和维持费用惊人,非常人能担负得起;三是操作起来已不如常规电镜那么方便等。国内也就是有色金属研究院上世纪七、八十年代引进过一台。
常用的灯丝有钨丝、LaB6、热场发射、冷场发射。前二者也许大家都很熟悉。国内大部分的场发射透射都是热场发射,包括FEI 和日本电子的产品。日立曾有过冷场发射透射,但似乎没什么市场。热场发射的优点是它的高电子束强度和高稳定性。冷场发射有较高的亮度,有利于扫描类工作,但其分析功能受小电子束强度和薄样品的限制,就不大适用了。
leehead
第10楼2007/01/09
真长知识,谢谢