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【原创】钨灯丝SEM的低加速电压图像

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 众所周知,SEM低加速电压条件下由于出射信号深度浅,可获得更多表面细节信息的图像。

    但钨灯丝扫描电镜随着加速电压值的减小,其分辨率明显降低,同时也可能由于探针束流的减小引起图像信噪比变差。

    因此,低加速电压图像质量的好坏更贴现了HI-SEM的性能优劣以及操作人水平的高低。

    下面发一些日立钨灯丝SEM低加速电压条件下的图像,抛砖引玉,欢迎讨论。

    1、电池粉末样品:


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  • golf

    第2楼2010/08/30

    顶一个
    钨灯丝拍成这样真的很不错了
    样品导电吗?喷过金吗?

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  • RoadCH

    第3楼2010/08/30

    3、太阳能电池表面图像
    主要元素是Si,加速电压越高,电子束穿透越深,图像越“朦胧”;加速电压越低,表面细节越多,形貌表现更“真实”

    Vacc. 15KV 图像倍率 X5000



    Vacc. 5KV 图像倍率 X5000


    Vacc. 3KV 图像倍率 X5000

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  • RoadCH

    第4楼2010/08/30

    多孔纤维那个样品喷了少量Pt,其他两个样品没喷镀直接观察的。

    golf(golf) 发表:顶一个
    钨灯丝拍成这样真的很不错了
    样品导电吗?喷过金吗?

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  • asahi42

    第5楼2010/08/30

    那个5kV放大20k倍的束流用了多少?

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  • RoadCH

    第6楼2010/08/31

    低加速电压的图像仅仅是用来体现操作技巧吗?答案显然是否定的,低加速电压相对于高加速电压有许多更实际的应用优势。

    1、可以降低导电性不良样品的荷电现象。
    如【电池粉末样品】成分是LiFePO4,属于导电性不好的样品,在低加速电压下可以不喷金直接观察,不会出现放电现象。不喷金的优势在于节约成本和避免喷镀引起的形貌改变。

    2、可以减轻电子束辐照对样品的损伤。
    如【合成多孔纤维】,在高加速电压条件下很容易造成损伤。


    3、低加速电压条件下可以观察到样品的表面细节形貌。
    如【太阳能电池表面图像】,低加速电压条件下更利于表征表面细节形貌。

    4、低加速电压还有其他的优势,如提高EDX元素分析的空间分辨率等。

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  • RoadCH

    第7楼2010/08/31

    Ip=15,也用10试过,图像稍暗,信噪比差点

    asahi42(asahi42) 发表:那个30k的束流用了多少?

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  • 〓疯子哥〓

    第8楼2010/08/31

    roadch兄拍的很棒,特别是太阳能电池表面那个图很漂亮

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  • RoadCH

    第9楼2010/08/31

    过奖了

    我见过很多电镜用户对所有样品都使用15KV~30KV的高加速电压,其实不少情况下低加速电压条件下可以获得更好的实验结果,希望上面的实验结果说明能给电镜操作者带来一些有益的启示。

    〓疯子哥〓(madprodigy) 发表:roadch兄拍的很棒,特别是太阳能电池表面那个图很漂亮

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  • linzq

    第10楼2010/08/31

    LZ做得十分的精彩。继续呀

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