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【求助】高手帮看下这张图吧

  • songbin664
    2010/11/12
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 涂层是氧化铝,衬底是钢,上面为绝缘胶。现在拍出的SEM怎么这么模糊呢?做电镜之前用直流溅射的方法在断面上制备了C膜,具体厚度不是很清楚,但颜色基本上没有发生改变。之前没有喷碳的时候还是比较清楚的。喷上碳应该更清楚才是,现在怎么越不清楚了呢?高手指点啊。
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  • songbin664

    第1楼2010/11/12

    是不是因为直流溅射镀的碳的导电性不好呢

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  • 江南烟雨中孤独的狼

    第2楼2010/11/12

    我看不懂 学习

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  • fengyonghe

    第3楼2010/11/13

    镀碳膜之后适当提高加速电压可能会解决这个问题。

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  • 小M

    第4楼2010/11/16

    应助达人

    可以看到镀的碳膜,拍的是侧面?

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  • samzhang01

    第5楼2010/11/17

    一般来说,喷碳后导电性会比较好。

    就你的图片而言,可能改进的方面:
    1)聚焦没调好
    2)改用喷金或其他金属,试试看
    3)SEM 的 WD 可以适当调小一点,电压可以降低一点
    试试看吧,祝楼主好运

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  • liujiugao

    第6楼2010/11/19

    这个是场发射 还是 钨灯丝的?
    有 磁污染吧
    如果 不需要能谱 可以把 工作距离 调大一些 试试
    尽量先做高倍数的

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