扫描电镜（SEM/EDS）
第1楼2005/12/12
是不是涡沦泵坏了，或者是前级泵坏 了！检查一下！
第2楼2005/12/12
是否油扩散泵?冷却水没有供应？
第3楼2005/12/12
Sean:直接引用而没有自己的发言，有灌水嫌疑哦，请你自己把帖子删除或者修改帖子内容
第4楼2005/12/12
泵都没问题，冷却水是好的，一开机，停不大一会，就保护了，真空灯和放气都亮着，再也没动作了
第5楼2005/12/12
seanwen没告诉你吗？有可能是尘土过滤网堵了，洗一下就好了。具体位置问一下工程师吧。
第6楼2005/12/12
过滤网是新换的sean已经告诉过我了，但现在故障依旧，但依然非常感谢
第7楼2005/12/13
检查一下市电电压是否过高或过低。
第8楼2005/12/14
自动保护一般是保护电压和真空的,可从这两方面查找,你说无法抽真空,哪显然是真空达不到要求,应该有显示的,我觉的可能是泵有问题或者真空系统有泄露的地方.不过最好的办法还是问一下厂家会更好一些.别忘了告诉我们真正的原因哦
第9楼2005/12/14
应该是仪器真空系统出现问题，最好的办法是联络厂家服务工程师
第10楼2005/12/15
首先,打开电镜,摸后面的机械泵,如果某个机械泵不转,有可能是它的保险丝断了,天气温度偏低会导致启动电流大而烧坏保险,这种可能最大.其次,打开控制台后面板,检查左边和左侧面的电源灯,如果某一个不亮,有可能是电源有问题.
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