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【求助】帮忙分析一下!

扫描探针显微镜SPM/AFM

  • 样品是厚度约为1um的Si oxide薄膜,想得到清晰的图像,以便测得粗糙度。
    Nanoscope的Multimode,tip是NT-MDT的,Pt-crystal silicon,f为355Hz。
    Tapping模式,integral gain和proportional gain都设得很小(0.2左右),窗口是10×10um的。
    问题主要是:一不够清晰,二是有明显的小划痕。

    虽然测得的粗糙度不错,但我觉得实际的粗糙度应该比这个值要大,求问没有捕捉到真正的“峰”点和“谷”点,粗糙度应该小于实际值吧?
    另外就是测量的问题到底出在哪儿?是针的问题?还是参数没有设好。

    大家有话就说,谢谢指点!
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  • unht

    第1楼2011/03/20

    速度减慢点。针尖力度加大点。
    Nanoscope的Multimode这种型号的操作起来不是那么容易

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  • zhysony

    第2楼2011/03/20

    感谢指点,加大针尖力度果然起作用了!另外我还发现gain值太小、针尖污染也是模糊的原因!

    起初发现trace曲线波动很剧烈,怀疑是噪声,因此减小了gain值,但后来发现波动的曲线就是真实的表面形貌!将gain值提高到了0.4和0.8左右,图像就明显清晰了。另外就是unht说的,针的力度还不够,可能是我主观认为针太脆弱,看来多虑了,呵呵!最后,原来的针尖好像别人用过多次,钝化或污染可能是另一个原因~

    总之问题解决了,发图致谢论坛和热心的Unht !

    unht(unht) 发表:速度减慢点。针尖力度加大点。
    Nanoscope的Multimode这种型号的操作起来不是那么容易

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  • unht

    第3楼2011/03/20

    不用谢啊,以后大家多交流交流

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