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【求助】请教“加速电压，初级电子能量对于元素信号和分辨率的影响”

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 在做SEM时，如何选取加速电压？看了很多资料也没总结出规律。高手可否告知，电压的大与小，电子束能量的大与小，会影响到什么？比如分辨率，衬度，元素检出限等等。
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  • fengyonghe

    第2楼2011/04/01

    牛津能谱的总结供你参考

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  • allenren

    第3楼2011/04/04

    谢谢以上两位的回答

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