扫描电镜（SEM/EDS）
fengyonghe
第1楼2011/04/30
没遇到过这样的问题，发图看看。
小M
第2楼2011/04/30
FIB是什么情况下用到呢？我只知道FIB是聚焦离子束
第3楼2011/04/30
不知你的样品是什么材料，可能这种材料受轰击后发热膨胀。
wyy23477
第4楼2011/05/03
会不会是导电性不好的样品呢？因为电子束集中扫描某个区域时，如果导电性不好的话，可能有被烧蚀的感觉，比如之前做过玻璃样品，即使表面喷过碳，有时也会有局部近似烧伤的感觉。
tedyli2007
第5楼2011/09/10
和材料有关，有些高分子材料在FIB的E-Beam下扫描是会变形的，有些会被打薄，有些会鼓包，挺难看的，觉得突起应该是和聚焦点温度有关，减薄和电子束轰击相关，我在测试中经常遇到
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