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【求助】关于喷金仪的气体流量控制单元

asahi42

2009/07/20

扫描电镜（SEM/EDS）

请教各位~mass flow control（质量流量控制）的原理是啥呀~这个在喷金仪的氩气控制上有用，但是不知道是怎么工作的。。。附上文献一篇，查了，但是看不懂啊~各位帮帮忙，谢谢了~
mass flow control

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驰奔

第1楼2009/12/04

用于控制真空度，以达到气体电离所需要的离子流。通过调节控制单元保持进气和排气保持平衡

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