对芯片快速大面积摄像

鉴于你要用来测试10nm的微区，那么场发射少不了了。
磁场和振动的测试可以委托电镜厂商，当然也可以委托相应单位，比如上海市计量局就应该有相应的测试，你打114问一下他们的号码就是了。
防震台的问题比较尴尬，我觉得为什么不能搬到一楼？10nm的分辨率即使用防震台也未必效果太好吧？国内有代理防震台的，在本版的采购交流里面有一个代理：
http://www.instrument.com.cn/bbs/forum_407.htm，你可以找找看。
国外的防震台也有，不过要5万美金吧，复旦大学材料系买过一台，用在透射上的，德国产品，据说效果还行。电话似乎是65642029，陈老师。

至于2万倍一下的放大，对于场发射简直就是太简单了，如果有防震台，稳定性应该还可以吧。这些你都可以在找到厂家之后让他们给出专业意见。

Good Luck！

多谢您对这个版面的青睐。您确实一下子问了一箩筐问题。
关于LAB6看法， 同意楼上两位意见， 解析度不见得比 钨丝的好到哪里去， 维护 比场发射的还要麻烦得多， 很不划算， 电镜厂家也在积极淘汰LAB6，很可能几年以后没维护。
我个人认为 热场是首选，束流够强劲， 但也很稳定。
扫描速度 您的要求那家电镜都可以达到，但高扫描时信噪比会下降，所以又说回来，这方面热场也 最好。
电磁透镜 焦距的变化 是由于 剩磁的积累，几乎所有现代电镜都有消剩磁的功能， 问题是在自动 流程中， 是否 电镜可以自动 消剩磁。
震动问题建议您参看 版面上 的有关帖子。

非常感谢各位DX的热情回答！！！

我总结了以下，基本上是：

1. 对于我们的应用，还是需要热场
2. 震动是个问题，但是如果肯花钱，还是能够解决的
3. 如果使用热场，能够达到速度要求

是这样吗？

根据我个人尝试的经营，速度目前还是一个问题，因为我们对图像质量要求还是比较高的，我试过一台LEO是最快的，需要10s左右（1万倍），而我们期望在3秒以内。

买LEO的或者FEI的SERION系列吧，贵是贵了点，东西真的不错。

LEO的热场 现在叫 ZEISS ULTRA 系列， FEI的SIRION 现在叫 NOVA NANOSEM。

高扫描速度和高信 噪比 ， 我认为是 电镜 电子原件和线路板 高级与否的原因。

用过leo的，感觉扫描速度一般，也有同样的问题。同问。。

随便问问那位还在用leo的电镜，交流一下。

是不是用来做反向工程啊？？？

岛津的SEM很好用，体积小，操作方便。