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束流大小和探针电流大小的关系

扫描电镜(SEM/EDS)

  • Hitachi S-4800冷场扫描电镜
    使用扫描电镜进行拍照的时候,参数设置为:加速电压10kv,发射电流10uA
    根据工程师给的图表,可以估计,探针电流大小在1~2 X 10-11 A

    那么,此时,束流大小大概多少?因为想计算电子束在样品表面的剂量(dose)

    非常感谢~!
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  • 蓝莓口香糖

    第1楼2011/07/24

    束流不就是探针电流吗?一个叫beam,一个叫probe。

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  • fengyonghe

    第2楼2011/07/24

    phylla(phylla) 发表:Hitachi S-4800冷场扫描电镜
    使用扫描电镜进行拍照的时候,参数设置为:加速电压10kv,发射电流10uA
    根据工程师给的图表,可以估计,探针电流大小在1~2 X 10-11 A
    ---------------------------------------------这一项就是束流-----------------------------------
    那么,此时,束流大小大概多少?因为想计算电子束在样品表面的剂量(dose)

    非常感谢~!

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  • asahi42

    第3楼2011/07/25

    的确是这样的~

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:

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  • 小M

    第4楼2011/07/25

    应助达人

    为什么要计算电子束在表面的剂量?

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  • fengyonghe

    第5楼2011/07/25

    剂量和试样携带的电量有何区别?怎么计算剂量?

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