【原创】关于样品蒸金问题的一些思考

楼主老师讲的很实际，客观。
我想就自己工作中一点体会，跟帖谈一点样品蒸金看法。
当样品颗粒尺寸或薄膜中起伏相对较大，比如超过100纳米时，适合喷金处理。
当样品颗粒尺寸大约在几纳米或一二十纳米或稍大些时，个人看，这时不适合蒸金。因为溅射、蒸发上的金颗粒大小一般就有几个纳米，若溅射时间稍长，纳米金颗粒连成岛状，则尺度更大。从而导致溅射的金颗粒将覆盖原有颗粒或薄膜表面的本来形貌。这时，就需要采用上面楼主老师说的，利用减速功能，改变加速电压，TV模式，抓拍等方法。
另外，蒸金时，当样品形貌比较复杂时，可以分几次溅射，用将样品倾斜不同的角度的方法进行溅射，以保证金膜更加连续。

“当样品形貌比较复杂时，可以分几次溅射，用将样品倾斜不同的角度的方法进行溅射，以保证金膜更加连续”。这应该是个改善的办法。

另外，蒸金时，当样品形貌比较复杂时，可以分几次溅射，用将样品倾斜不同的角度的方法进行溅射，以保证金膜更加连续。
[/quote]

溅射仪能不能有一个活动的溅射台，让样品一边蒸一边移动，这样比较好。
另外。同意你几十纳米左右的样品不易蒸金。我觉得200NM以内都不易蒸。蒸金应该对微米左右的样品影响要小一些，十微米才基本看不到影响。

可以先镀上一层碳膜，碳膜的连续性比金膜好，然后再镀金

这样的话蒸镀的覆盖太厉害了，几千倍还马马虎虎，上万倍细节损失太厉害。对于某些样品一个方向蒸任何东西都无法解决问题的。

低真空也是很有用的手段啊，是传统镀膜方法的有效补充。

社区9933社区9934社区9935社区9936社区9937社区9938社区9939社区9940社区9941社区9942社区9943社区9944社区9945社区9946社区9947社区9948社区9949社区9950社区9951社区9952社区9953社区9954社区9955社区9956社区9957社区9958社区9959社区9960社区9961社区9962社区9963社区9964社区9965社区9966社区9967社区9968社区9969社区9970社区9971社区9972社区9973社区9974社区9975社区9976社区9977社区9978社区9979社区9980社区9981社区9982社区9983社区9984社区9985社区9986社区9987社区9988社区9989社区9990社区9991社区9992社区9993社区9994社区9995社区9996社区9997社区9998社区9999社区10000社区10001社区10002社区10003社区10004社区10005社区10006社区10007社区10008社区10009社区10010社区10011社区10012