做能谱EDS的时候，要选择高真空还是低真空呢？

应助达人

一般是高真空吧，低真空没试过

低真空和高真空有啥区别？

你做一下。比较一下发上来大家看看。

期待更详细的回答~~~

应助达人

高真空和低真空，只有真空度不一样，结果就不知道了

X荧光在高低空下衰减不同，所以高低真空肯定是有影响的，特别是是轻元素，低真空的衰减很快的。

资料上有详细论述，截一段你看：

前三条是优点后三条是缺点，权衡利弊选择吧。

谢谢啊！
现在经常做EDS的，大多数是些不导电的样品，如果是在高真空下，图像容易产生大量的电荷，观察图片是不方便，也就很难找到EDS需要打的点。所以就有些疑问不知在高低真空下有什么影响？影响很大吗？推荐在哪个真空度下呢？如果是衰减的话，那对测量的结果会有多大的影响呢？期待~~~回答

fengyonghe(fengyonghe) 发表:资料上有详细论述，截一段你看：

前三条是优点后三条是缺点，权衡利弊选择吧。

楼主可参考以下驰奔转帖的一篇论文。
非导电样品X射线能谱显微分析(EDS)研究
http://coxem2010.blog.163.com/blog/static/16510375720101114114056890/

本文节选自 真空科学与技术学报
作者：张隐奇　吉　元 王　丽　卫　斌　戴　琳　史佳新　张　虹
(北京工业大学固体微结构与性能研究所）