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SEM最近发现在低真空时老是频繁一直不停地抽真空，好久了都没抽完

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 各位大侠，最近发现SEM（S-3400N）在低真空时老是频繁一直不停地抽真空，好久了都没抽完，这是为什么呢？
相关话题
    +关注 私聊

  • 小M

    第1楼2011/08/16

    应助达人

    机械泵可能出问题了吧

0
    +关注 私聊

  • xiao乒乓

    第2楼2016/03/28

    我们也是抽不上去，我想是不是和密封，循环水，电子枪有关？高手帮忙

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