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SEM测试中怎么消除图像漂移?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 求大侠,SEM测试中怎么消除图像漂移?
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  • 流水DE缘呐

    第1楼2013/05/08

    喷金,增加样品导电性~

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  • eric7316

    第3楼2013/09/07

    我也遇到过这样的,不知道怎么处理。

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  • 上海小胖

    第4楼2013/09/07

    原因有很多,有可能是样品台漂移、导电胶的弹性回复、样品没粘劳,光路问题等等。搂着可以尝试一下用碳浆替代碳胶(不过要预抽一段时间的真空),并且wobb和像散调好试试。

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