ypf1984
第5楼2011/09/16
我刚才问了这边一个比较有经验的老师,他告诉了我一下经验,在这里和大家分享一下:
首先,电流是和电压成正比的,酸的浓度越高,电流对电压反应越敏感,一般电流控制在80微安比较合适,当然和材料有关。
1、孔在边缘:主要是由于圆片没有放在样品夹的中心,还有就是电流过高了。偏上,流速过高,偏下,过低;
2、筛子孔:和样品有关,可能存在第二相,两相腐蚀速率不一样,可以降低电流,再离子减薄;
3、孔太大:流速过高,光值设为自动,降低温度;
4、表面发灰:电压过低,没有抛光;
5、表面发黑:电压过高
清洗时,不要左右晃动,要上下清洗。
大家有什么经验,可以在这里说一下,讨论讨论。