Auto particle analysis by SEM/EDS

应助达人

怎么实现自动分析？买软件？

恩，EDS的一个模块。不过需要标准样品去设置电镜的对比度和亮度，
因为主要是在BSD下做。

看你是做什么样的particle。校准会提高检测的准确度和效率
牛津有C，Co，Rh，Au四元素标样卖的，用来调对比度

做SEM对比度、亮度的校准主要是有利于结果的一致性，比如不同的操作者，不同的时间，可能判断亮度、对比度有不同的结果。

如果做校准，通常选用两种标准样品，如Au和Co。选定好加速电压、电流后，通过调整SEM的亮度、对比度，使他们在EDS软件里的亮度值达到某一特定的值。

这样对分析同一类样品，又要结果一致是很重要的。

如果只是偶然做某个特定的样品，只要将亮度、对比度调到合适的值就可以，校准并不是必须的。

应助达人

表样可以自己做，也可以买。

如果每次测的是同类的样品，就自己做一个表样。

标样 的校准就是为了保证你每次测试的条件一样，做出来的颗粒数才有对比性。
所以每次测试最好做下标准样，确定下电镜的状态是否稳定。

是做颗粒的清洁度分析吗

是要做清洁度颗粒分析吗？