【求助】EDS元素分析的准确度

1.当然可以,误差来源很多,比如样品制备,测试条件,以及有无标样,等等,好的定量一般对原子序数较小的元素误差在5%左右,原子序数较大的误差可以控制在2%,当然前提是有标样,样品制备合理,测试条件合适.
2.理论上探测极限是0.1%,但是实际很难达到,均匀样品可以探测到0.5%.

可以半定量，也要根据扫的精度来说。

EDS测定的最小有效区域是多大呢？这会影响到精度的。

不同仪器的精度不同
我用的一款Oxford精度大约是130ev 能谱就会有飘移的情况存在
而且EDS对重元素比较灵敏
轻元素的定量我们一般采用AES（俄歇电子能谱）
个人认为　EDS的分析速度比较快　
精确定量当然得倚重经典的化学分析仪器方法比如AA ICP等等

氧化物用EDX不是很好吧？如果C,O不高的话精度还是可以的。

有多大的误差完全取决于样品及样品处理情况,样品如有按标准做那肯定分析的误差会小很多;
元素的分辩率一般可达到0.1%WT以上.