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扫描电镜束斑大小与图像分辨率

fengyonghe

2011/11/04

扫描电镜（SEM/EDS）

束斑大小和分辨率之间有直接的因果关系。诸如冷场或热场发射、提高电子枪的亮度、降低电子枪的能量发散度、大幅提高电子枪的真空度等等都是为减小束斑服务的。钨灯丝由于其曲率半径太大、发射电流又小，可以说电镜研发单位无法使它得到有用的足够小的束斑。

冷场电镜比热场电镜的束斑小，更比钨灯丝的小，所以在观察图像时钨灯丝电镜更需要注意spot size的调整。我们用人眼的分辨率0.3mm计算一下SS的调整。1000倍下SS要小于0.3mm÷1000=300nm ，同理10000倍下要小于30nm ，100000倍下要小于3nm 。

显示器的分辨率也会影响图像清晰度，有资料表明当有两个以上像素重叠时图像会显得模糊。我们可以在图像采集时设置一个图像分辨率，该设置必须高于由束斑直径确定的二次电子图像分辨率。

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小M

第1楼2011/11/05

应助达人

这样做是为了让人眼觉得不模糊吗？
fengyonghe(fengyonghe) 发表:我们可以在图像采集时设置一个图像分辨率，该设置必须高于由束斑直径确定的二次电子图像分辨率。

0

fengyonghe

第2楼2011/11/05

有这个效果。如屏幕分辨率小于二次电子图像分辨率，最终图像分辨率等于屏幕分辨率。
小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:这样做是为了让人眼觉得不模糊吗？

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