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我要投稿-横向赛曼石墨炉原子吸收光谱法在紫外正型光刻胶中的应用

辛妈

2011/12/14

原子吸收光谱（AAS）

我要投稿
摘要：

随着电子技术的飞速发展，对紫外正型光刻胶的质量提出了极高的要求。因为紫外正型光刻胶中钙、铬、铜、铁、钾、镁、钠、镍、铅、锌的存在将严重影响器件的成品率、可靠性和电化学性^[1]。因此建立准确、快速的分析方法有一定的意义。对于光刻胶中金属的检测方法，有电感耦合等离子体-质谱法（ICP-MS）^[2,3]、电感耦合等离子体发射光谱法（ICP-AES），但是这两种方法光刻胶都需要经过湿法消解或者干法灰化后才可以进样。湿法消解或者干法灰化容易引起易挥发元素的损失，同时存在容器污染，酸基体或者其他试剂的污染，本底较高等问题。本文提出了用石墨炉原子吸收法（GFAA）直接测定紫外正型光刻胶中十种金属元素的方法，本方法不经任何化学处理和富集，减少了中间过程，避免了样品被污染。详细描述了仪器最佳条件选择、控制空白，建立标准曲线、加标回收、测定检出限的方法。钙、铬、铜、铁、钾、镁、钠、镍、铅、锌的检出限分别为0.07ng/ml、0.03ng/ml、0.15ng/ml、0.15ng/ml、0.01ng/ml、0.03ng/ml、0.05ng/ml、0.36ng/ml、0.14ng/ml、0.02ng/ml。

石墨炉原子吸收法（GFAA）需要选择合适的溶剂稀释光刻胶，考虑到试剂对光刻胶的溶解性，试剂本身空白值的大小等因素，我们最终选择丙二醇甲醚醋酸脂（PGMEA）做稀释剂，稀释样品后直接进样。

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titi

第1楼2011/12/14

辛辛妈，是要参加原创大赛投稿吗？？
是这样的，参加原创的期刊投稿需要先参赛在投稿期刊
参赛的要求就是分享500字以上的实验心得，不要将论文的摘要直接贴出了这样大家不能分享和学习到您的一些心得，春论文形式也不适合论坛里交流和讨论，论文格式的全文发给我或者在发帖的时候主题词选择【第四届原创】然后是否投稿选择是，填写个人信息上传全文我就收到了！！

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