TEM FFT,帮分析一下，谢谢啊。

是非晶，不过这个非晶是在制备样品时，离子减薄过程中所致

怎么看出来是非晶呀

从它的FFT图可以看出，并且在样品空洞边缘，或多或少都会存在部分的非晶，从高分辨像可以看到的

样品应该是硅 110带轴截面，沿001方向生长的单晶硅吧。
样品做的好的时候完全可以没有非晶相的，（离子束减薄，最后阶段降低能量到2KV左右）。就算有，也就是2nm左右，也不会厚到接近20nm哦，仅仅是经验哈，轻拍。
楼主的图确实是非晶相，高分辨和FFT都确认无疑。不过得看你样品是怎么制备的，这个非晶相到底是激光处理产生的的，样品制备打坏的，还是样品对贴时候的胶，就要自己慎重考虑了。
楼主哪个单位的啊？版上做半导体的好少哦。

中科院的的后生，上层FFT衍射可以看出是非晶，但怎么开区非晶来自胶或者非晶硅？另外，从下层FFT能发可以看出是单晶硅中存在部分缺陷（衍射斑点不清晰）？

非晶可以容易判断 但是怎么来的 就要看样品是怎么制备的了 样品是你自己做的么？

FFT上衍射斑点不清晰和有缺陷没有直接的关系 衍射斑点只跟晶格点的周期性有关

缺陷比如位错之类的 是不会显示在衍射斑点上的

但是 晶体区域上下表面 也有可能存在非晶层 会对成像有影响