小M
第1楼2011/12/31
三、关Camera真空。
1、在SUPERVISOR帐号下,确认Vacuum-Control-Vacuum Standby前的框勾上;
图05 Vacuum Standby勾上
2、长按仪器面板“Vac”(白色)按钮,按钮由白色变成无色,此时Camera真空值变为Disabled。
图06 Vac按钮(漏拍,用图04)
图07 Camera真空值Disabled,Status为OFF
四、待机。长按仪器面板上的“OFF”(红色)按钮,此时仪器面板上的“ON”(绿色)和“OFF”(红色)按钮都亮,“HT”(白色)和“Vac”(白色)按钮都灭,电源柜内的绿色灯灭,橙色灯亮。
图08 ON和OFF都亮,Vac和HT都灭