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XRD测量应力求助

ssssss0527

2012/01/12

X射线衍射仪（XRD）

新手菜鸟，看关于薄膜（几个um，基底不到1mm）内应力测量的文献，有点晕。我之前理解XRD测得都是biaxial，而且是整个film的marcostress。和beam deflection这种基于stoney方程测曲率的方法在测量能力上是一样的。

可是我今天看到有人用synchrotron做出来微区的microstress distribution，而且还是三维的（有垂直于平面的z轴方向），我就凌乱了。。。我还安慰自己可能是同步的比较神奇，可刚刚又看到一篇用Bruker D8 Discover TXS也做出来了三维的应力分布图。哭了。。

特请教，到底什么样的XRD可以测z轴的应力？什么样的可以测micro？谢谢大家！btw，那个Bruker是一个什么样的仪器，不是同步吧？（TXS啥意思？他还说用了Eulerian cradle）？小角衍射在薄膜应力测量上有什么优势呢？GIXS比SAXS是不是只是测得膜薄了点，其他都差不多呢？

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iangie

第1楼2012/01/12

应助达人

Bruker公司的设备神马样子在他网站上都有
同步辐射不是哪一个公司能卖得出来的....
掠入射和小角是两个概念. 同样在Bruker网站上有图有真相~

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