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怎么准备SEM样品

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 我的材料是在蓝宝石（Al2O3）上长了一层约为100nm厚的二维生长的ZnO，而后对ZnO刻蚀（LED的pattern）。现在我想看每个LED的边沿是否是比较笔直的被刻蚀的，也即是讲，看他边沿的粗糙状况（一般的方向，不是crosssection）。现在问题在于，每次看的时候充电效应很严重，完全看不清晰（试过镀银，且在基底贴了石墨导电片）。本人是初接触SEM，故而想请教大家，我该怎么办？
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    +关注 私聊

  • zhaogod

    第1楼2012/06/06

    敬请大家不吝赐教，谢谢！

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  • fengyonghe

    第2楼2012/06/06

    用尽可能低的加速电压观察。也可用环扫。

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  • zhaogod

    第3楼2012/06/06

    谢谢你了，我其实已经试过1kv了，那时候就不怎么看得清表面了。

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:用尽可能低的加速电压观察。也可用环扫。

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