以下是我个人的看法: 对于FIB来说,SI就是二次离子的信号。SI可用于表面的氧化、腐蚀的观察。因为氧化物会得到很强的SI发亮信号。 FIB能产生SI及SE,但没有BSE。与SEM产生的SE相比,FIB产生的SE是来自样品更加浅层的信息。 SI 与SE能够同时进行检测。所以我猜ZEISS的SESI就是指两个信号同时检测。
以下是我个人的看法: 对于FIB来说,SI就是二次离子的信号。SI可用于表面的氧化、腐蚀的观察。因为氧化物会得到很强的SI发亮信号。 FIB能产生SI及SE,但没有BSE。与SEM产生的SE相比,FIB产生的SE是来自样品更加浅层的信息。 SI 与SE能够同时进行检测。所以我猜ZEISS的SESI就是指两个信号同时检测。