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二次离子质谱分析技术及其应用1

sisigh

2012/07/24

同位素及其它无机质谱

1 二次离子质谱学发展简史... 4

2 SIMS的原理和仪器结构... 5

2.1 原理... 5

2.2 质谱分析器(质谱计) 6

2.2.1 磁质谱计... 7

2.2.2 四极质谱计... 7

2.2.3 飞行时间质谱计... 8

2.2.4 其他质量分析器... 10

2.3 SIMS仪器类型... 10

3 SIMS与其它表面分析技术的比较... 11

3.1 SIMS的主要优缺点... 11

3.2 与其它微分析技术比较... 13

4 SIMS的研究和应用... 14

4.1 元素及同位素分析... 14

4.2 颗粒物微分析研究... 16

4.3 团簇、聚合物分析及生物医学等方面的研究... 17

4.4 SIMS在化合物半导体材料分析中的应用... 19

4.4.1 常规分析... 20

4.4.2 最低测量极限... 21

4.4.3 高分辨率SIMS分析... 23

4.4.4 解剖分析... 24

5 SIMS的新进展... 25

6 几种新型号二次离子质谱仪采用的新技术... 26

6.1 NANO SIMS 50型二次离子质谱仪... 28

6.1.1 小束斑离子枪和短工作距离的二次离子接收透镜的新设计... 28

6.1.2 二次离子接受器由单种离子接收改为多种离子同时接收... 29

6.2 IMS WF和IMS SCULTRA型SIMS. 29

6.2.1 在线就地溅射坑深测量系统的引入... 29

6.2.2 能用于超浅深度和超薄薄层检测的离子枪... 31

6.2.3 同心旋转样品台... 32

6.2.4 可装戴300mm×300mm薄片样品进样系统... 33

6.3 TOF SIMS IV型SIMS. 33

6.3.1 样品冷却-加热装置... 33

6.3.2 能平行检测所有同位素的丰度比... 34

6.3.3 超浅深度和超薄薄层检测离子枪和300×300mm薄片样品进样系统... 34

7 结束语... 34

参考文献 35

附件：

二次离子质谱综述1.pdf

分
该帖子已被版主-无机麦地加4积分，加2经验;加分理由:感谢楼主提供的资料

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无机麦地

第1楼2012/07/29

楼主从事SIMS相关的工作么？

1

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