In lens模式是什么意思？有什么特别的用处？

LZ您用的是JSM的7600F还是Zeiss的？几家的定义和结构不一样的，无法统一回答。

谢谢回复。我的是Zeiss的。

噢，呵呵，Zeiss的In lens是一个镜筒内光轴上的二次电子探头，在Beam Booster开启的前提下工作，主要用于成高分辨的二次电子像；SE1是镜筒外的二次电子探头，用于成常规二次电子像；BSE是镜筒内光轴上的背散射电子探头，同样在Beam Booster开启的前提下工作，用于成样品表面背散射电子像。LZ您的机器是Ultra级别的吧~？

这个…LEO的钨灯丝是没有Beam Booster的，所以您的机器的In lens是不是我之前说的那个In lens还有待考证…JEOL的in lens在高端热场上面使用，好像是JSM-7600F和JSM-7800F，在电子枪下面阳极这个地方直接接上一个汇聚透镜，用于提供持续稳定的大束流。但是这仅仅是从样本上面的理解，具体细节，要JEOL的工程师才知道~

leo 1530是场发的，1430才是钨丝的，就是后来的EVO系列。

另外，楼主是华工的？

in lense 是消除杂散二次电子的纯样品的二次电子信号。

In lens就是一个观察极表面细节的探头，不一定要在BEAM BOOSTER开启的前提下工作。