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Al的TEM截面样品制备

透射电镜(TEM)

  • 以前做过基底是氧化锆的涂层的截面样品,现在做的样品基底是Al,因为金属Al非常软,延展性很好,抛光磨的过程中发现两个对粘的表面容易乌到一块,两个表面中间的gap也越来越大。不知道在座没有人做过比较软的金属的TEM截面样品,帮忙提出一点建议,不尽感激!
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  • 洪星二锅头

    第1楼2012/10/25

    铝样品比较好磨,在研磨过程中加水了吗,怎么研磨的,说说步骤,用的多少号砂纸

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  • 大布口袋

    第2楼2012/10/25

    只用FIB做过Al的截面样品 需要比较好的经验可以做出来用来做STEM高分辨的样品

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  • yueque

    第3楼2012/10/26

    加了水啊,但是用400的开始磨的,一直到1200,1200以后又用diamond film 从1um到0.5再到0.25μm。

    洪星二锅头(coime) 发表:铝样品比较好磨,在研磨过程中加水了吗,怎么研磨的,说说步骤,用的多少号砂纸

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  • yueque

    第4楼2012/10/26

    FIB的话太厚了,100nm的厚度做不了高分辨啊

    大布口袋(taboo) 发表:只用FIB做过Al的截面样品 需要比较好的经验可以做出来用来做STEM高分辨的样品

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  • yueque

    第5楼2012/10/26

    难道你能用FIB得到20nm左右厚度的样品?

    大布口袋(taboo) 发表:只用FIB做过Al的截面样品 需要比较好的经验可以做出来用来做STEM高分辨的样品

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  • 洪星二锅头

    第6楼2012/10/26

    个人觉得400号砂纸有点粗,虽然磨得快,由于是截面样品,很容易产生铝沿着你研磨的方向发生拉伸,你可以在每道研磨工序后,用显微镜观察一下,确保你所要观察的那个涂层不要被铝所覆盖,在最后几道研磨过程中,研磨方向最好是平行截面的方向

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  • 大布口袋

    第7楼2012/10/26

    可以~

    yueque(yueque) 发表:难道你能用FIB得到20nm左右厚度的样品?

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  • 大布口袋

    第8楼2012/10/26

    FIB要做出一个可以做普通高分辨的Al截面样品很容易

    yueque(yueque) 发表:FIB的话太厚了,100nm的厚度做不了高分辨啊

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  • yueque

    第9楼2012/11/19

    请问什么是平行截面的方向?是指跟对粘的界面平行?这样的话那些grinding particle会跑到对粘的空隙里去吧?

    洪星二锅头(coime) 发表:个人觉得400号砂纸有点粗,虽然磨得快,由于是截面样品,很容易产生铝沿着你研磨的方向发生拉伸,你可以在每道研磨工序后,用显微镜观察一下,确保你所要观察的那个涂层不要被铝所覆盖,在最后几道研磨过程中,研磨方向最好是平行截面的方向

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  • yueque

    第10楼2012/11/19

    你好牛啊!!我这里管仪器的老师说100nm是极限,求经验啊

    大布口袋(taboo) 发表:FIB要做出一个可以做普通高分辨的Al截面样品很容易

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