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【求助】ICP点不着火了

zhangen333444

2012/11/02

赏
悬赏金额:0积分状态:已解决

求救。我们的JY200-2型ICP无法点火已经有一个多星期了，尝试了很多方法，还是无法排除故障。
可以听到尝试点火的啪啪声，之后就提示高压故障，偶尔提示氩气故障。在此过程中，forward（正向功率）：7.57→9.08→711→354→4.54；reflected（反射功率）：0.59→155→199。售后说是反射功率波动大了，正向功率不足所以点不了火，怀疑是矩管那块位置变动引起的，但是调整以后还是同样的问题。各位大侠，跪求高见。

分
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qq250083771

第1楼2012/11/02

应助达人

点火枪有问题吗

0

kk0247

第2楼2012/11/02

有没检查下氩气纯度是不是达到要求了？

0

爆发吧，小宇宙

第3楼2012/11/02

高压包坏掉啦吧。

0

依风1986

第4楼2012/11/02

应助达人

这个坏掉就是价钱问题了？
爆发吧，小宇宙(yw0108) 发表:高压包坏掉啦吧。

0

依风1986

第5楼2012/11/02

应助达人

楼主仪器用了几年了，有可能是RF功率管坏了

0

zhangen333444

第6楼2012/11/02

同样一瓶氩气，之前用得好好的，现在还有6个压呢
kk0247(kk0247) 发表:有没检查下氩气纯度是不是达到要求了？

0

zhangen333444

第7楼2012/11/02

还不到一年呢，用的又不是很频繁，不至于坏这么快吧
依风1986(xurunjiao5339) 发表:楼主仪器用了几年了，有可能是RF功率管坏了

0

beyond1977

第8楼2012/11/02

应助达人

湿度怎样？是完全点不着还是点着立刻熄灭了

0

悠旸

第9楼2012/11/02

RF部分损坏的可能性比较大，可能要花大价钱了。

0

sonne86400

第10楼2012/11/02

对啊 rf损坏大金钱是要花的啊赛默的都要17万一个的你要是在质保内就免费了啊

0

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