可能是由于减薄速度不一样造成的。
几个nm大的颗粒能够做能谱，但数据中有基体的成分。
huang150429 发表:我今天做的样品是用离子减薄做的，在TEM下观察时，看到的薄区倒是不少，但是就是感觉不均匀，有的地方亮，有的地方黑，感觉就像用“爪子”抓出来的，而我以前用双喷做的样品，就不是这种现象，薄区比较均匀，这正常吗？另外，离子减薄的样品中有很多纺锤状的与基体衬度不一样的地方，这是不是离子减薄造成的原因啊，不太懂。。。。另外我想问一下，tem所带的能谱，分辨率多大啊？如果粒子的尺寸为几个纳米，能谱可以收集的到吗，打出的元素准确吗？
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