kfcontrol
第2楼2013/05/30
谢谢你的回答! 早上大概让我烘烤了一个小时左右,冷却了2个小时,现在真空抽到9.6--e-6pa。。。ps:他说如果能达到-6pa就说离子泵应该问题不大。。。但是不知道,什么时候才能抽到-8pa。。。如果达不到,是不是应该在好好烘烤一下。。。
kfcontrol
第10楼2013/05/31
刚才搜到一些关于离子泵的数据:
不知道,离子泵在真空从2E-7pa降到4E-7pa,会做些什么动作,假如说有保护性的停止,在间隔不到一分钟点击pump重新启动,它又会在4E-4pa到1E-5pa做些什么烧坏动作呢。。。具体烧坏的东西是什么哈,是不锈钢的阳极,还是钛阴极,还是电源。。。离子泵现在就是温温的。。。估计是坏了。。。这连锁反应哈。。。为什么么不提前就换civ阀哈,正好碰上了我这个菜鸟导致悲剧。。。