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请教分子泵

yaoranyouyou

2006/07/08

其他仪器综合讨论

真空系统中，关泵时，头晕了一下，先关了机械泵，过了一会反应过来关错了，然后又开机械泵了，再按正常的步骤关了设备，结果再抽的时候，机械泵抽不出好想是漏气似的，检查来检查去实在是不知道那里漏气。
机械泵是好的，分子泵会不会出问题？那地方会出问题呢？
我也不太懂，是新设备上的。就是机械泵连在分子泵上。如果分子泵不开，机械泵抽一会，真空会上去，应该是负责分子泵前级和真空室预抽。
它这个是有保护功能，一般不是说分子泵是二级泵，必须在一定的的真空下才可以开吗？它这各可以同时开，只是在真空度不上去时，分子泵不工作而已。
抽的时候阀门没有动。
气路就是一个scroll pump 连在turbo pump 再接闸板阀，再接到腔。
现在的症状就是机械泵抽的声音很大，不断有气从排气孔出来，显然是漏气了。别的地方又没有动，分子泵内部是不是哪里破了，漏气呢？
谢谢！

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zcylws

第1楼2006/10/31

请问您的分子泵是哪儿生产的，在哪儿购置的？

0

dzhq

第2楼2006/11/01

分子泵必须是在真空的情况下才能运转。否则，分子泵长时间在大气的状态下运行会由于负载大，造成不必要的损伤和损坏。检查你的放气安全阀。及其他一些保护开关。

0

dzhq

第3楼2006/11/01

分子泵必须在真空的状态下运行，否则分子泵会由于运行负载大而造成损毁和不必要的损伤。同时你可以检查一下仪器的安全开关。和安全阀。

0

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