ICP-MS和选型

应助达人

不知道给你改的型号对不对呢？没有听说过7700B 。


一般而言，7700s有Cool模式，多用于多晶硅行业。

应助工程师

斑竹错鸟。。。。现在的A家，从7500开始（应该还更早），只要配备了shield torch的，全部都可以做cool plasma。而且这个模式也应用于简单基体的溶液，并非多用于多晶硅行业的。

只是很多人认为cool plasma相对比较难调谐，而且半导体光伏行业的多是7700s（7500cs），有氢气的气路，所以多用H2模式来替代cool了

7700s号称是面向半导体高纯材料的行业，因为它是在洁净环境中组装的，而且仪器的包装考虑了洁净度。相对7700x包装确实是比较注重这方面。

噢，sorry，我没用过7700x，用的是7500cx和7700s。7500cx这个应该就是对应7700x了。

应助达人

用过7500a和7700x的飘过，7500a没哟碰撞池，楼主莫非也把7700系列当成7500系列了？

应助达人

7700X用碰撞模式，7700S用冷模式；至于7700X能否用冷模式，我不是很清楚，反正根据我们当前使用的7700X，它没有冷模式。

每一台ICP-MS都有 标准模式(No Gas) 和 冷焰模式（Cool Plasma）。

对于绝大部分测试，我们用的是热焰（RF功率>1000 W），调谐时关注：低中高元素灵敏度(例如 Li Y Tl)、氧化物产率(140Ce16O+/140Ce+，即156/140)、双电荷产率（140Ce++/140Ce+，70/140）。

在半导体高纯行业，为了检测
冷焰调谐时主要关注 7Li 59Co灵敏度，也会瞄一眼140和156/140比值。Ce的第一电离能是5.54 eV，但Ce+瞬间与O结合生成CeO；由于Ce-O键能最强，冷焰不足拆解Ce-O，所以冷焰调谐时观察到：140Ce计数是零，156有少许计数，156/140比值越大越好——理论上是无穷大。所以冷焰核心：156/140比值无穷大。

应助工程师

.如果是机械地参照A家的调谐要求，冷焰的要求如下：

59Co>20000cps，同时DIW中39K<1000cps、40Ca 56Fe 40Ar40Ar<100cps。对7Li还真没什么要求。实际在半导体的应用上7Li也没什么干扰，也极少见用cool来测试7Li的。

这个调谐要求中，59的比较容易达到，主要是39 40 56 80的BKG要达到这个比较费劲。特别是39，我总感觉每次调这个要换多次的水，冲洗时间要在半小时以上才能符合要求。

下午把Cool的贴上来给大家分享：http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20130614/4790986/

哈哈，学习了

学习 了想关的知识，谢谢