原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)是20世纪80年代初问世的扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)的一种。1986年,Dr.Binning 因发明扫描探针显微镜而获得诺贝尔物理奖。这种显微镜可以直接观察物质的分子和原子,为进一步探索微观世界提供了理想的工具,对于材料的研制开发,生物分子的表征起到了巨大的作用。
进入正题
Flatten
原理:对每条扫描线上没有被MASK的数据根据最小二乘法计算出一个拟合的多项式,然后把这条扫描线上所有的数据点减去此多项式。
用途:用来去除由于扫描管垂直方向的漂移,扫描过程中出现的跳线,扫描管的弧线运动等原因而引起的扫描线之间产生的垂直方向错位。
上面只有文字的描叙有点抽象了那让我们来看看它神奇的效果吧,有图有真相
(Flatten前的图片)
(Flatten前要框住亮点)
(Flatten后)
在来看看它3D图的变化
Flatten前
Flatten后
很明显Flatten前后的差别,当然有人会问你这样Flatten之后是不是图像变得不真实了呢?
那么我们在Flatten时应该注意这些事项:
在做flatten时,一定要把图象中不在同一平面内的特征stopband框起来,然后再进行处理,否则在具有高特征区域的水平线上会处理低的区域;而在具有低特征区域的水平线上会出现高的区域。
对图像分析产生的影响:
由于flatten去除了扫描线与扫描线之间的垂直方向的offset,它同时也就修改了图象Y方向的信息,所以在分析图象时要注意到这点,比如
1. 在做roughness分析时,flatten对结果的影响会很大。
2. 在测量台阶高度时,如果扫描方向与台阶垂直,flatten没有什么影响;但是如果扫描方向与台阶平行,用flatten处理图象则会产生很大的影响。
以上就是我对Flatten的神奇效果的理解