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ICP的安全问题

mikewind

2013/07/15

搞光谱分析的各位大家好，

我们实验室是是搞ICP等离子体刻蚀的。自己买了个ICP炬管，通入的是氩气和CF4，接上13.56Mhz射频电源，激发出等离子体，光很强烈（目测）（无任何防护措施）。

我的疑虑是，这样的方式会不会有紫外或x射线或其他有害辐射呢？这关系到我们实验室人员的身体安全，都是20多岁的学生，真心求助

分
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依风1986

第1楼2013/07/15

应助达人

辐射是肯定有的，一定要做好保护措施

0

abcpgf

第2楼2013/07/15

应助达人

按照aglient的说法比我们用手机辐射要低很多。

0

依风1986

第3楼2013/07/15

应助达人

厂家都是这样说的
abcpgf(abcpgf) 发表:按照aglient的说法比我们用手机辐射要低很多。

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timstoicpms

第4楼2013/07/16

商业化的ICP-OES、ICP-MS，等离子体都是被“屏蔽”在仪器仓内部，电磁辐射肯定安全。

但像楼主这种在裸露环境下用等离子体，电磁辐射就不好讲了。
abcpgf(abcpgf) 发表:按照aglient的说法比我们用手机辐射要低很多。

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依风1986

第5楼2013/07/16

应助达人

裸露的肯定不行了，可否借助仪器测试？
timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:商业化的ICP-OES、ICP-MS，等离子体都是被“屏蔽”在仪器仓内部，电磁辐射肯定安全。

但像楼主这种在裸露环境下用等离子体，电磁辐射就不好讲了。

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tang566

第6楼2013/07/16

应助达人

用于蚀刻的ICP，它的蚀刻原理是什么？

0

砂锅粥

第7楼2013/07/16

应助达人

楼主这个跟安捷伦的仪器很不一样。

楼主那个不是用来测试元素的，而是拿来蚀刻的。应该跟激光蚀刻差不多。
abcpgf(abcpgf) 发表:按照aglient的说法比我们用手机辐射要低很多。

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砂锅粥

第8楼2013/07/16

应助达人

应该是利用等离子体的高温，类似于激光的高能量。
tang566(tang566) 发表:用于蚀刻的ICP，它的蚀刻原理是什么？

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砂锅粥

第9楼2013/07/16

应助达人

这样估计光的强度跟电焊差不多了，肯定要做防护措施的了。商业化的ICP是加装了保护装置的，有屏蔽层。

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