laidekeai
第1楼2013/07/25
13. 手动进样口
去掉顶盖,露出真面目!
14. 设备后面全景。已经把载气管线给拆掉了,载气进口下面会有特写
拆掉挡板,内部景象
15. 电子流量控制模块 及 气路管
在此想特别说明下:气路管线有很多(有5根),如果逐根梳理的话,搞的头就大了,也不一定搞的清楚。 厂家在这里做的很好,在有的气路管上做了标识,不至于把气路搞混了。
请看下面这图:管路上白色的标有字母的卡扣即为标识,“S”代表分流气,“C”代表载气。还有一个“P”代表隔垫吹扫,这张图片上没有。
16. 电子流量控制模块特写
根据气路的排查及查看说明书,整个气路流程是这样的:
17. 辅助气接口及压力调节阀。辅助气用途:提供检测器氦气。
18. 顶盖打开,上部景象
对气路管进行标识
19. PDD检测器。圆孔是视窗,可以观察检测器是否点着“火”。不过顶盖若是盖上了,就看不到了,这点不是很好。
20. 拆掉右侧保护壳,都是电路板。电源开关在左下角。
到此,整个拆解工作全部汇报完毕。
小结:本次拆解的目的就是标识气路。在此过程中,有两个事情和大家一起分享下:
1. 实验台的放置位置要合理,要距离墙30侧面以上,这样不用移动设备,就可以对其进行拆卸或者维护工作。我们实验室的实验台就很不合理,还有移动设备,在拆卸过程费了不少劲。
2. 最初的确定气路时,因为不了解PDD检测器的原理,所以连接PDD检测器的两路气体,就给搞错了,原以为一路是尾吹,另一路类似FID是检测器的辅助气。当查找了PDD相关资料后,才搞清楚这两路气的来龙去脉,也清楚了阀保护气的来源。这也给自己提个醒:以后再没有搞清楚前,不能妄下结论!