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请问，水机、油泵都是起什么作用？

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 水机是冷却作用，但具体是冷却哪里的？真空室、电子枪还是其他什么？听说是油泵，对么？
    油泵又是什么作用？抽真空么？还有其他作用么？
    （日立的S-3000N为例）
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    +关注 私聊

  • SHMILYLQ

    第1楼2006/07/25

    冷却循环水是冷却油扩散泵的，扩散泵是抽高真空的，

0
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  • richard20

    第2楼2006/07/25

    油扩散泵是抽真空用的，那旋转泵是做什么用的？

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  • SHMILYLQ

    第3楼2006/07/25

    你说的是机械泵吧，那是为扩散泵抽低真空的，

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  • richard20

    第4楼2006/07/25

    RP，rotary pump,旋转泵就是机械泵么？

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  • netasp

    第6楼2006/07/26

    是这么叫的

    richard20 发表:RP，rotary pump,旋转泵就是机械泵么？

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