【序号】：1 【作者】：Kang-Yul Bae Young-Soo Yang Bum-Ho Choi 【题名】：Analysis of magnetic field distribution in a cylindrical-type magnetron sputtering system 【期刊】： Journal of Engineering Manufacture 【年、卷、期、起止页码】：June 2013 vol. 227 no. 6 881-889 【全文链接】：http://pib.sagepub.com/content/227/6/881.refs
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