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日立E-1010离子溅射仪的电流很小怎么办

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 日立E-1010离子溅射仪使用的时候，电流很小。调到high，旋钮也是扭到最大，电流始终都在10左右。而且在喷的过程中，电流逐渐减小。

    怎么样可以让电流大起来？

    因为送样的人要求电流达到20……

    拜托各位大侠了！
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    +关注 私聊

  • yangyouran

    第1楼2013/09/29

    会不会是金靶快用完了？

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  • edda601

    第3楼2013/09/30

    怎么看靶用完了啊？

    yangyouran(yangyouran) 发表:会不会是金靶快用完了？

0
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  • edda601

    第4楼2013/09/30

    是指真空度不那么高，就开始喷？

    可是仪器必须达到ready才能喷啊？

    linzq(linzq) 发表:放点气进去

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  • ahauxy

    第6楼2013/09/30

    我也有这个问题，希望大侠能够帮忙详解一下啊

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  • linzq

    第7楼2013/09/30

    你达到READY的时间太长了

    离子溅射需要离子，来之于真空中的气体分子电离形成离子

    edda601(edda601) 发表:是指真空度不那么高，就开始喷？

    可是仪器必须达到ready才能喷啊？

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  • edda601

    第8楼2013/10/08

    原来……

    下次试试！

    那为什么电流会越来越小呢？

    如果我在喷金的时候close，然后不抽气。可以吗？

    linzq(linzq) 发表:你达到READY的时间太长了

    离子溅射需要离子，来之于真空中的气体分子电离形成离子

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  • edda601

    第9楼2013/10/14

    的确，今天一ready我就开始喷，果然电流很大。

    但是喷的过程电流仍是在降低的说

    linzq(linzq) 发表:你达到READY的时间太长了

    离子溅射需要离子，来之于真空中的气体分子电离形成离子

0
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  • edda601

    第10楼2013/10/14

    的确，今天一ready我就开始喷，果然电流很大。

    但是喷的过程电流仍是在降低的说

    linzq(linzq) 发表:你达到READY的时间太长了

    离子溅射需要离子，来之于真空中的气体分子电离形成离子

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  • 驰奔

    第11楼2013/10/14

    这个型号是自动真空系统。
    是不是进气阀门堵了？应该需要工程师或工程师指导检查一下。

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