扫描电镜（SEM/EDS）
wjianna
第1楼2006/06/29
看上去是污染，抛光磨料或者侵蚀产物。可以用能谱打一下小白点，抛光磨料通常是SiC, Al2O3；浸蚀产物通常有腐蚀剂。例如硝酸酒精可能有N,O
cool_blood520
第2楼2006/06/29
有没有经过表面处理?你可以把小点放大一点,看看表面形貌
lanhuifang
第3楼2006/06/30
谢谢两位帮忙。如果说是抛光磨料，我反复抛了很多次，都是这样。而且只有这种工艺以后的组织是这个样子，其余的像淬火之类工艺后组织很干净。在扫描显微镜下放大后，是圆的颗粒，如图。
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