能谱点扫描时选择的区域大小与打能谱准确性的关系

应该是会有的，如果放大倍数很大，打的区域很小，束斑大小又比较大的话，那激发的X射线有可能就不仅仅局限于那个部位啦！

降低电压

谢谢解惑！但是怎样才能判断束斑的大小而选择采集面积呢？同一倍数，采集面积的不一样会不会也有影响啊？

何解！你们打能谱时的加速电压一般是多少啊？

可以降低电子入射深度，提高空间分辨率

你说的这是选区扫描。选区的大小不要超过目标物。对基体成分测量时选取可以大些，有代表性。

嗯嗯，是的！但如果是同一目标物，选取区域的大小对其测试结果的影响大不大？另外若要对比不同样品的测试，选区大小是不是一样大才有对比性呢？

首先是放大倍数一样大，然后是选区一样大。

如果是采用的点打的方式呢？降低电压固然可以降低电子入射深度，可同时带来的是能量高的元素无法激发出来，有什么办法可以两者兼顾吗？