扫描电镜(SEM/EDS)
制样师
第2楼2014/07/19
水冷制冷这个还真没听说过。液氮制冷那就是低温氮气制冷的冷台了。
fengyonghe
第3楼2014/07/19
是真空系统工作时需要冷却,基本采用水冷。扩散泵、离子泵需要冷却。离子泵有的还设有液氮冷却装置,但很少用。采用磁悬浮的分子泵不需冷却。
gao007007
第4楼2014/07/20
场发射电镜的物镜(电磁透镜型)需要水冷,如果配冷阱则为液氮制冷扩散泵(目前很少使用了)需要液氮制冷
fengyinqiao
第5楼2014/07/21
谢谢!不是配件,是硬件!
第6楼2014/07/21
一级泵我们用的机械泵;二级离子泵我见工程师拆过,没有看到冷却装置。
第7楼2014/07/21
物镜需要水冷,那只是在物镜内循环,还是要通到镜筒外面循坏呢?谢谢!
第8楼2014/07/21
二级泵是分子泵,三级泵是离子泵。
第9楼2014/07/21
不好意思,说错了!
m2921742
第10楼2016/08/05
离子泵也分几极的,他应该说的是 二极离子泵 就是最简单的两级泵级分粗 中 高机械泵是粗抽 分子泵 离子泵都是高泵机械泵给分子泵提供前级,分子泵给离子泵提供前级但是分子泵离子泵都属于高泵
第11楼2016/08/05
扩散泵水冷,分子泵也有水冷的但是一般会在抽气口加入水阱或者冷阱,一是获得更好真空和抑制返油
品牌合作伙伴
丹纳赫苏州基地 打工人的梦想
执行举报