您好,拍了一下全谱有氮线存在,您说照明光路的问题,需要做准直,我们今天已经做了准直,还是没有改善,我们还需要做哪些工作谢谢
showmethemoney(showmethemoney) 发表:你首先要确定是200nm以下,还是190nm以下或者其他? 拍个全谱图看一看,能看到174nm附近的4个氮线么?如果能看到,那么CID的响应就没有问题,应该是照明光路的问题,需要重新做一下矩管准直。如果是这种情况,因为热电是分段曝光,应该不止200nm以下变弱,只要用UV-slit的波长都要变弱,具体是级次>300的波长。如果174nm四条谱线一点都看不到,那么可能是光室吹扫出了问题。