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热场发射电镜在拍摄半导体材料时为什么同样的样品拍摄顺序越后图像越模糊。

  • 王菲1987
    2014/11/17
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 热场发射电镜在拍摄半导体材料时为什么同样的样品后面拍摄的越模糊，也越南聚焦。期待回复。不好意思，刚想起自己的电镜是热场发射。。抱歉。。
相关话题
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  • UNM

    第1楼2014/11/17

    应助达人

    确定下你拍的是平面吗

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  • fengyonghe

    第2楼2014/11/18

    上图片看看比较好吧

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  • 王菲1987

    第3楼2014/11/18

    是平面的，就是单晶硅的金字塔。

    UNM(v2942222) 发表:确定下你拍的是平面吗

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  • 王菲1987

    第6楼2014/11/18

    以上图片为同一个样品裁下来的，第一幅为抽真空后第一个测试样品，第二幅为测试一段时间后的第五个样品。此次拍摄时是按顺序依次拍摄到5号样品。5个样品放在各自一个小样品台上，各不干扰。急求解次现象？

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:上图片看看比较好吧

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  • fengyonghe

    第7楼2014/11/18

    第二张图亮度也度升高了，感觉是束斑不稳定，有变大的可能。物镜光阑匹配的合适吗？换小一号的试试。其实第一张图也有些不清楚。是你看习惯了。

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  • 王菲1987

    第8楼2014/11/19

    谢谢大师的指点呢。我们实验室由于没有喷导电膜的设备，对导电性不好的样品，我们只能是尽力而为呢。哈哈。

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:第二张图亮度也度升高了，感觉是束斑不稳定，有变大的可能。物镜光阑匹配的合适吗？换小一号的试试。其实第一张图也有些不清楚。是你看习惯了。

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  • platinum

    第9楼2014/11/20

    不导电物质还是镀膜后再拍摄效果会好，否则会污染物镜

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  • 王菲1987

    第10楼2014/11/20

    谢谢您的建议，我也想买啊。。哈哈。。老板不投钱啊。。

    platinum(christy926) 发表:不导电物质还是镀膜后再拍摄效果会好，否则会污染物镜

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