扫描电镜(SEM/EDS)
SHMILYLQ
第1楼2006/05/10
没有电子束你可以调整一下电子枪的机械对中,用内六角扳手调整三个弹簧.高真空上不去,是指面板上的数码显示管到不了头吗?
ryjysu
第2楼2006/05/10
我都试过了,调机械对中不管用啊,高真空也是,在真空表头的多数为50左右
第3楼2006/05/10
表头50左右那真空是不高,你可以先整个电子枪放气,看一下电子枪的橡皮圈和样品室大门上的橡皮圈是否干净,有无脏东西?机械泵的声音异常吗?
第4楼2006/05/10
我试试看看吧,我用的这台镜子已经很久没有正常的运行过了,我也是刚刚接收手的,抽真空的时候听着声音不太对,但是我也说不出来是那,找不到
第5楼2006/05/10
橡皮圈是干净的,我还清洗了光阑呢,也都没有反应,
applehuang
第6楼2006/05/12
高真空上不去有可能是你的镜筒或样品室里的橡胶圈老化,没有了弹性!造成密封性不好.你取下来的橡胶圈如果不能恢复原状,而是已经扁平的话那就考虑更换试试!还有可能就是你的扩散泵有问题,也许该换油了!调节电子束要有耐心,慢慢调!如果你是新手,建议你找个有经验的指导你一下!
weifenxi
第7楼2006/05/12
你先不要着急看像,先把真空的故障解决,否则你的电镜会坏的。
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