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ARL 4460真空度抽不上去，紧急求助

lf8025

2014/11/29

各位大侠，我们使用的是ARL4460直读光谱仪，真空系统是膜泵+分子泵，今天突发状况，真空度报警，现场检查，分子泵无异常声音，正常运行，膜泵也能正常运转，开始半个小时真空度在31左右浮动，我尝试激发了几个点，发现真空度缓慢变化，现在已经升到119了，已经没办法进行正常的检测工作，请各位帮忙分析什么原因。

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king95509

第1楼2014/11/29

是不是管路密封圈部位哪里有漏气现象了？

0

=牛魔王=

第2楼2014/11/29

检查密封

0

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