扫描电镜(SEM/EDS)
sweetapple986
第1楼2014/12/19
波谱对计数率需求大,扫描电镜功率低,满足不了波谱。
shazhude
第2楼2014/12/19
我百度了下,好多扫描电镜不是也配了波谱吗?呵呵。
第3楼2014/12/19
波谱还是要在大功率大束流下使用效果才好。类似XRF领域,也有大功率的波长色散型和小功率的能量色散型,但是没有厂家将波长色散结构装上小功率的X射线管。理论上扫描电镜也可以配波谱,就像理论上法拉利也可以配个1.0的发动机,可是用起来能爽吗?哈哈。
小M
第4楼2014/12/20
想来也只可能是因为波谱分析需要大束流,然而大束流会导致分辨率低。所以扫描电镜侧重于图象,分析是附带的;电子探针侧重于分析,图象是附带的。
第5楼2014/12/21
看来图像和成分的需求是互驳的,要想两者都满足,还是很难的,要是这两者都满足了,扫描电镜和电子探针就合二为一了。
EPMANEWS00
第6楼2016/05/03
这是关键。大束流才能带来更高的灵敏度。另外,SEM上配备的WDS,通常是一个通道四块晶体,而EPMA一般是4~5个通道,效率差好远。SEM+WDS国内用户不多,能用好的就更少了,而且,仪器出问题的概率貌似很大。
驰奔
第7楼2016/05/04
楼上说的确切,扫描电子探针就是扫描电镜加上多道波谱,需要稳定的工作条件。如果扫描电镜加上多道波谱,并且对稳定性提出更高要求,那就是扫描电子探针了,价格也即是电子探针的价格了。至于,分辨率差异,主要是使用的操作条件不同造成的,仪器本身没有实质差别。扫描电子探针基本都是有标样定量分析。扫描电镜基本都是无标样定量分析。
upsilon
第8楼2016/05/12
我想到这几个因素:一、束流:束流有两个要求: 1、大,能够激发足够多的信号,尤其是轻元素;有些可以达到 0.1mA。 2、稳,在测试的时间内变动越小越好。钨灯丝可以达到12小时变化率在0.3%以内。二、位置:EPMA设计有光学显微镜,利用其窄景深来确定样品的表面所在。EPMA的分辨率也可以达到SEM的一半左右。我觉得EPMA是以SEM为基础,增加一些设计达到提高分析精度的目的,反过来再要求SEM替代EPMA,可能要提高SEM的成本,或者降低分析精度。
zhoujianxiong1
第9楼2017/06/22
大家讨论很不错。最早的扫描电镜,几乎就是电子探针。后来分道扬镳了。详细评述见“扫描电镜测长问题的讨论”一书中的有关论述。
第10楼2017/06/22
这里有一个很重要的是:领域与需求问题。对有些只注重定量分析,而不需要高分辨图像的领域,电子探针几乎是唯一,扫描电镜没有太大的用处,如研究固体矿产部门。而对有些不需要定量分析,主要观察图像的领域,电子探针满足不了要求,则扫描电镜几乎是唯一,如生物领域。当然,在很多部门,两者用途兼而有之,则就有个选择问题。从统计的角度看来,在有些国家,电子探针和扫描电镜的拥有量之比可以达到1:4。而目前我国大概只有1:20左右,这种情况应该说有些不太正常。
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