急：超薄表面镀层纯度分析？

之前看过gdms针对高纯的电子应用材料 可以做到成分含量和镀层的分析 估计这个可以满足你

横截面SEM-EDS

这个方法不可行，特别对于20nm的Au层，电子束的作用区宽度肯定会大于20nm的，会把Ni层成分也打出来的。

恩，查了一些资料也就只有这个方法能够解决了，请问你知道国内有哪些检测机构能够提供这方面的测试呢？

另外，这类设备大致什么价格区间呢？

按照你的要求只能gdms来做 这个进口的 国产没有 要三百万左右 上海材料所可能有这个机器 金川可能也有

有没尝试用XPS测试下看看，XPS的费用比GDMS便宜些。